Micro- and Nanometer Probe Station

　　本探针台的主要组成包括：探针台台体，高精度显微镜，高精度探针座，屏蔽箱，防震桌，连接线及转接头。其中探针台的台面平整度5 um，上下粗调范围25 mm，Z轴调节精度1 um；显微镜目镜10X，连续变焦可调，总放大倍数2000X；探针座移动精度0.35 um；配上屏蔽箱等，测试电学信号漏电低于100 fA。